碩晨廣源新廠落成 以智慧工廠正式引領高階PVA空氣發泡技術 跨界半導體產業

全球前五大高分子 PVA（聚乙烯醇）高階空氣發泡技術領航者 — 碩晨（Cenefom Corp.），今日正式宣布其廣源廠全面落成啟用。作為明基材料（BenQ Materials）旗下子公司新廠全面導入智慧工廠概念，將核心的專利高階PVA泡棉技術，從高度重視安全性的醫療產業，成功擴展至極度要求潔淨度的高精密半導體與高效能工業市場，碩晨擁有「超潔淨」與「空氣發泡」兩大核心技術，不僅達成無澱粉殘留，更具備業界最低水準的金屬與液體微粒子檢出，將持續優化晶圓清洗解決方案，與全球領先的半導體製造商攜手，共同面對 2 奈米以下先進製程中對潔淨度的極致要求。

堅持醫療級最高安全標準與品質把關，在進軍半導體的同時，碩晨並未忘記醫療領域的初心，持續擴大應用於眼科、耳鼻喉科、負壓引流敷料及傷口護理等高階PVA泡棉產能。憑藉醫療級產品所需的嚴格規範，新廠在製程中採用自動化視覺檢測（AOI）精密監控，確保微小元件的幾何尺寸精準無誤。其超潔淨技術確保了優異的生物相容性，並將細菌生長風險降至最低，給予醫療使用者最安心的承諾。

明基材料暨碩晨董事長陳建志表示：「明基材料始終致力於將材料科學的價值推向巔峰。2022 年我們不僅挹注資金，更導入了材料創新、先進製程和永續綠色工廠等動能。我們深信高階PVA發泡材料的應用潛力透過集團軟硬體的深度整合，可以成功協助碩晨從醫療應用，延伸至高精密的半導體市場，攜手打造更具前瞻性且可持續的高價值解決方案。同時，亦加速明基材料在半導體領域以及醫療產業線佈局，並在醫療照護與專業耗材的領域，達成技術升級與市場擴張。」

從醫療防護到晶圓守護：碩晨以醫療級PVA技術定義半導體清洗新標準

碩晨憑藉在全球醫療級高分子泡棉領域的深厚研發實力，正式將其核心技術應用於半導體高精密製程，推出專為半導體晶圓清洗設計的碩晨高階PVA空氣發泡刷輪 (Cenefom Advanced PVA Air-formed Brush Roller)。作為半導體化學機械研磨（CMP）後清洗製程所設計關鍵的清潔耗材，碩晨PVA空氣發泡刷輪展現了其在材料科學上的領先地位：

高競爭力之技術優勢與效率

• 大幅縮短磨合時間 (Breaking-in)：在客戶端的實際應用中展現了顯著的數據優勢，在一般規格下成熟製程更從27分鐘降至9分鐘，顯著提升了客戶設備的產出效率（UPH）；在高階製程規格下，成功將設備磨合時間，從傳統競品的270分鐘大幅縮短至僅60分鐘。
• 優異的節能節水表現與成本降低：因孔洞連通性極佳的高出水效率，同樣 800cc 進水，碩晨出水量可達 710cc（競品僅約 450cc，其餘多為滲漏），清潔效果更強。客戶端每日用水量（TIWA）可減少約 12%，兼顧了製程效能與節水用電與碳排綠色目標。

卓越的材料特性：
• 無塵室製造與低微粒脫落：依託於醫用止血及傷口護理材料的生產經驗，碩晨在無塵室生產高階PVA空氣發泡刷輪，嚴格控管金屬離子與微塵顆粒。產品具備極低萃取物特性，能有效防止晶圓表面的二次污染，確保製程良率。
• 高穩定性與化學耐受性：獨家的交聯反應製程，確保碩晨高階PVA空氣發泡刷輪在高速運轉下的機械強度與抗磨損性，延長使用壽命，進而降低半導體客戶的設備停機時間與整體維護成本。此外，更能相容於多種半導體清洗化學品（如 SC1、稀釋氫氟酸等），確保在嚴苛製程下的使用壽命。

應用範疇與產品規格：
• 主要應用：碩晨高階PVA空氣發泡刷輪，應用於半導體晶圓CMP後清洗製程。
• 客製化設計：針對不同客戶的製程需求，碩晨提供多樣化的結點設計與尺寸客製化（長度、外徑、內徑）及表面紋路（如點狀、溝槽狀或平滑面）選擇，優化化學藥劑的流動與廢液帶走效率，以媒合各廠牌 CMP 設備。

隨著新廠啟動，實踐 ESG 永續願景，打造零澱粉綠色工廠，碩晨積極落實「Clean（超潔淨）、Conservation（節能環保）、Collaboration（協同創新）」的核心價值。廣源新廠導入能源管理系統（EMS），能即時監控空調與生產設備，優化設定以減少能源浪費。得益於無澱粉發泡製程，新廠的廢水處理程序相對簡單，大幅減輕了環境負擔。目前廠區已完成第一階段雨水及空調水回收系統，未來更規劃建置太陽能板並評估外購綠電，穩步朝RE100綠色工廠的目標邁進。

碩晨總經理徐陳平展望：「選擇加入明基材料是為了獲取能讓技術極大化的資源環境；目前全球對高階PVA發泡材料的應用發揮不到三分之一，我們堅信，超潔淨技術與PVA空氣發泡工藝能緊密串起我們與客戶及市場的聯繫。目前碩晨醫療產品正處於高度成長期，至2025年已成功打入全球 40 個國家、超過130個客戶，包含數個醫材產業全球排名前50的關鍵客戶。碩晨廣源廠的啟動，結合高階空氣發泡專利與智慧化廠務管理，確保我們將持續把台灣研發的精密材料推向全世界，並提供全球市場，最高品質且符合 ESG 永續精神的高階PVA 泡棉解決方案。」